マシニングセンタ
| 装置名 | マシニングセンタ ファナック ロボドリル |
| ストローク | X：700mm Y：400mm Z：330mm |
| ツール本数 | 21本 |
レーザー干渉計
平面測定システム Φ102レーザー干渉計 G102S を導入いたしました。
さらにお客様のご要望にお応えできるようになりました。
Φ102レーザー干渉計 G102S
| 光 源 | 半導体レーザー（クラス1レーザー製品 JIS C 6802:2005） |
| 波 長 | 685nm±15mm |
| 形 式 | フィゾー型干渉方式 |
| 有効光束径 | Φ102mm |
| 測定感度 | λ/2（約0.3μm/縞） |
| 基準面精度 | P-V値で32nm |
| 倍 率 | ×1～6 ズーム |
デジタルマイクロスコープ
| 装置名 | デジタルマイクロスコープ キーエンス デジタルマイクロスコープVHX－700F |
| 倍率 | 20～200倍 |
画像寸法測定器
| 装置名 | 画像寸法測定器 キーエンス 画像寸法測定器 IM－7500 |
| ステージサイズ | 300mm×200mm |
表面粗さ測定器
| 装置名 | 表面粗さ測定器 東京精密 サーフコム 1400G |
| 測定範囲 | Z軸(縦方向)：800μm Y軸(横方向)：100mm |
輪郭形状測定器
| 装置名 | 輪郭形状測定器 ミツトヨ コントレーサ CV-3200 |
| 測定範囲 | X軸 ：100mm Z軸(移動範囲) ：500mm |