レーザー干渉計

平面測定システム Φ102レーザー干渉計 G102S を導入いたしました。
さらにお客様のご要望にお応えできるようになりました。
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Φ102レーザー干渉計 G102S

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光    源 半導体レーザー(クラス1レーザー製品 JIS C 6802:2005)
波    長685nm±15mm
形    式フィゾー型干渉方式
有効光束径Φ102mm
測定感度λ/2(約0.3μm/縞)
基準面精度P-V値で32nm
倍    率×1~6 ズーム